Автор(ы) | Гаврилов С.А. |
---|---|
Издатель | Высшее образование |
Год | 2009 |
ISBN | 978-5-9692-0304-4 |
EAN | |
Обложка | переплет |
Формат | |
Вес (г) | |
Страниц | 257 |
Просмотров | 22 |
Стандарт | 20 |
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.
Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 010803 (014100) «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) «Электроника и микроэлектроника (бакалавр)», а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
Учебное пособие для ВУЗов
Возможность скачать/купить Электрохимические процессы в технологии микро- и нано-электроники.epub у Высшее образование
Хотите эту книгу/словарь/учебник в переплёте или в формате fb2 epub mobi doc docx djvu txt pdf? Нажимайте ниже ссылки или кнопки [В магазин] или [Читать].