Автор(ы) | Королев М.А. |
---|---|
Издатель | Бином. Лаборатория знаний |
Год | 2009 |
ISBN | 978-5-94774-337-1 |
EAN | |
Обложка | переплет |
Формат | |
Вес (г) | |
Страниц | 397 |
Просмотров | 21 |
Стандарт | 20 |
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Для студентов и аспирантов
Хотите эту книгу/словарь/учебник в переплёте или в формате fb2 epub mobi doc docx djvu txt pdf? Нажимайте ниже ссылки или кнопки [В магазин] или [Читать].