| Автор(ы) | Гаврилов С.А., Белов А.Н. |
|---|---|
| Издатель | Высшее образование |
| Год | 2009 |
| ISBN | 978-5-9692-0304-4 |
| EAN | |
| Обложка | Переплет |
| Формат | 84х108/32 |
| Вес (г) | 300 |
| Страниц | 257 |
| Просмотров | 107 |
| Стандарт |
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 "Электроника и микроэлектроника", 010803 (014100) "Микроэлектромика и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника (бакалавр)", а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
Возможность скачать/купить Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники..pdf у Высшее образование
Хотите эту книгу/словарь/учебник в переплёте или в формате fb2 epub mobi doc docx djvu txt pdf? Нажимайте ниже ссылки или кнопки [В магазин] или [Читать].